спец.прибор для проведения рентгеноспектрального микроанализа◆ Речь идёт об электронных микрозондах и микроскопах, широко используемых для изучения состава руд, форм нахождения полезных элементов в минеральных видах, их распределении в продуктах переработки руд на всех этапах — от исходного сырья до так называемых хвостов — отходов производства. М. Д. Прохоров, Г. А. Месяц, «Водородная энергетика и топливные элементы», 2004 г. // «Вестник РАН»[НКРЯ]